一、用途:
BMT700研究型硅片顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀(guān)察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無(wú)限物鏡,使觀(guān)察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器.
硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀(guān)察到肉眼難觀(guān)測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中*的檢測(cè)儀器之一.
二、BMT700研究型硅片顯微鏡技術(shù)參數(shù):
1、目鏡
類(lèi) 別 | 放大倍數(shù) | 視場(chǎng)(mm) |
大視野目鏡 | 10X | φ22 |
2、物鏡
類(lèi) 型 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑NA | 工作距離(mm) |
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差物鏡 | 5X | 0.12 | 26.1 |
10X | 0.25 | 20.2 | |
40X | 0.60 | 3.98 | |
60X | 0.70 | 3.18 |
3、光學(xué)放大倍數(shù):50X -- 600X 系統(tǒng)參考放大倍數(shù):50X-3500X
4、濾色片組:黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
5、偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
6、載物臺(tái):二層機(jī)械移動(dòng)式:尺寸:210mmX140mm,移動(dòng)范圍:75mmX50mm
7、粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)手輪格值:0.002mm
8、落射照明器:鹵素?zé)?,亮度可調(diào);透射光源6V30W鹵素?zé)簦友b散熱片。
9、防霉:*的防霉系統(tǒng)
三、BMT700研究型硅片顯微鏡適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀(guān)察。本儀器配有大移動(dòng)范圍的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡,圖像清晰、襯度好,同時(shí)配有偏光裝置,及其高像素的數(shù)碼攝像頭. 本儀器配有無(wú)限物鏡,使觀(guān)察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的”金字塔” 的微觀(guān)形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
四、總放大參考倍數(shù):
50--4000倍 (17寸顯示器為例)
五、系統(tǒng)組成:
1、顯微鏡
2、適配鏡
3、500萬(wàn)高像素?cái)z像頭
4、計(jì)算機(jī)(選配)
六、選購(gòu)件:
1、二維測(cè)量軟件
2、目鏡: 20X 10X(帶刻度)
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